Jej metoda syntezy wykorzystuje głównie pierwiastkowy krzem i azot do reakcji chemicznej w temperaturze od 1300 stopni Celsjusza do 1400 stopni Celsjusza, a następnie otrzymuje azotek krzemu. Można go również syntetyzować poprzez diiminę lub można zastosować węgiel. Reakcję redukcji termicznej syntetyzuje się w atmosferze azotu w temperaturze od 1400 do 1450 stopni Celsjusza. Reakcja redukcji karbotermicznej jest prostym i opłacalnym sposobem wytwarzania proszku azotku krzemu w przemyśle.
Jeśli chcesz osadzić azotek krzemu na półprzewodniku, możesz zastosować technologię chemicznego osadzania z fazy gazowej pod niskim ciśnieniem w stosunkowo wysokiej temperaturze, używając pionowego lub poziomego pieca rurowego, lub możesz zastosować technologię chemicznego osadzania z fazy gazowej wspomaganej plazmą w stosunkowo wysokiej temperaturze . Wykonywać w niskiej próżni. Ponieważ parametry ogniw elementarnych azotku krzemu różnią się od parametrów krzemu elementarnego, wytworzona warstwa azotku krzemu będzie generować napięcie lub naprężenie w zależności od metody osadzania. Szczególnie w przypadku stosowania technologii chemicznego osadzania z fazy gazowej wspomaganej plazmą można ją regulować za pomocą parametrów osadzania, które zmniejszają naprężenie.
Granulowany azotek krzemu jest trudny w obróbce i nie można go podgrzać powyżej temperatury topnienia, ponieważ w przypadku przekroczenia temperatury topnienia azotek krzemu ulegnie rozkładowi na krzem i azot, dlatego należy zwrócić na to uwagę podczas przetwarzania.
